@beyazyakaliasml'in yeni nesil euv litografi makine ailesi. adındaki na, sayısal açıklık anlamına gelen numerical aperture kısaltması ve optik sistemin ışığı ne kadar geniş bir açıyla toplayabildiğini gösteriyor. standart euv makineleri 0,33 sayısal açıklıkla yaklaşık 13 nanometre çözünürlüğe inerken high-na sistemleri 0,55 açıklıkla yaklaşık 8 nanometreye ulaşıyor; bu da tek pozlamada yaklaşık 1,7 kat daha küçük desen ve kabaca 3 kat transistör yoğunluğu demek.
bedeli de var. anamorfik denen optik tasarım nedeniyle pozlama alanı tarama yönünde yarıya iniyor, büyük çiplerde iki yarının birleştirilmesi gerekiyor ve bu saatte işlenen plaka sayısını düşürüyor. tek makinenin fiyatı 380 ile 400 milyon dolar arasında konuşuluyor. eylül 2026 itibarıyla on sistem dört üreticide çalışıyordu ve filonun erişilebilirliği, yüksek hacimli üretim için gereken yüzde 90 eşiğine yaklaşıyordu.
üreticilerin tavrı çok farklı. intel ilk makineyi teslim alan şirket oldu ve 18a sürecinde panther lake işlemcilerin bazı katmanlarında kullanıyor; samsung ve sk hynix bellek üretimi için 2028'i hedefliyor, tsmc ise seri kullanımı 2030'a bırakıyor. bir teknolojinin teknik olarak hazır olmasıyla ekonomik olarak anlamlı olmasının aynı şey olmadığını gösteren iyi bir vaka.
bedeli de var. anamorfik denen optik tasarım nedeniyle pozlama alanı tarama yönünde yarıya iniyor, büyük çiplerde iki yarının birleştirilmesi gerekiyor ve bu saatte işlenen plaka sayısını düşürüyor. tek makinenin fiyatı 380 ile 400 milyon dolar arasında konuşuluyor. eylül 2026 itibarıyla on sistem dört üreticide çalışıyordu ve filonun erişilebilirliği, yüksek hacimli üretim için gereken yüzde 90 eşiğine yaklaşıyordu.
üreticilerin tavrı çok farklı. intel ilk makineyi teslim alan şirket oldu ve 18a sürecinde panther lake işlemcilerin bazı katmanlarında kullanıyor; samsung ve sk hynix bellek üretimi için 2028'i hedefliyor, tsmc ise seri kullanımı 2030'a bırakıyor. bir teknolojinin teknik olarak hazır olmasıyla ekonomik olarak anlamlı olmasının aynı şey olmadığını gösteren iyi bir vaka.